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兼容氣密檢測和阻抗檢測
兼容壓差閥和流量法氣密檢測
人機交互簡單,適合產(chǎn)品開發(fā)和樣品生產(chǎn)
可根據(jù)工藝需求提供多樣化不同的解決方案
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基本項目
參數(shù)值
可識別泄漏速率
0.01~2mL/min
流量檢測分辨率
0.01mL/min
可識別壓差
25~5000Pa
壓差分辨率
0.1Pa
陰陽極測試壓差
3.5KPa~350Kpa
測試壓差分辨率
1Kpa
阻抗檢測波動
±0.1mΩ
阻抗檢測精度
±1%
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